PIEZOSYSTEM  緊湊型納米定位測量器

HS1H是一款緊湊型納米定位器，可以組合成2軸甚至3軸納米定位系統(tǒng)。它提供 10、30、50、70 或 100μm 的運(yùn)動(dòng)范圍，

中心孔徑為 33 mm，是光學(xué)顯微鏡應(yīng)用的理想選擇。由于采用直接驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，它具有特別快的步進(jìn)響應(yīng)時(shí)間。

該納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分（提供高功率控制器）。

PIEZOCONCEPT

運(yùn)動(dòng)范圍 Z （μm） 100 - 200 - 300 - 500

速度標(biāo)準(zhǔn)

孔徑 128.5 x 86.5 mm

“孔板尺寸"

PiezoCconcept 納米定位系統(tǒng)HS1.10具有10µm的運(yùn)動(dòng)范圍和0.01nm的分辨率，適用于需要較大運(yùn)動(dòng)范圍和高分辨率的

場合。而納米定位系統(tǒng)Z-STAGE.10則針對小范圍內(nèi)的微小運(yùn)動(dòng)，同樣具有0.01nm的分辨率，適用于對精確位置控制要求較

高的情況。

PiezoCconcept硅傳感器則提供了閉環(huán)控制，并具有皮米級(jí)別的分辨率，可以實(shí)現(xiàn)更精確的運(yùn)動(dòng)控制。這些部件通過轉(zhuǎn)

接板連接到模擬控制器，實(shí)現(xiàn)對系統(tǒng)的全面控制和調(diào)節(jié)。

孔板尺寸為128.5 x 86.5毫米，

PiezoCconcept納米定位系統(tǒng)HS1.10和Z-STAGE.10提供了不同范圍的運(yùn)動(dòng)，分辨率達(dá)到了驚人的0.01納米級(jí)別。這對于需要高精度定位的應(yīng)用來說是至關(guān)重要的。硅傳感器的閉環(huán)控制和皮米級(jí)別的分辨率進(jìn)一步增強(qiáng)了系統(tǒng)的精確性。

PIEZOSYSTEM  緊湊型納米定位測量器